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芯碁微裝（上市企業(yè)）專業(yè)從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)。
合肥芯碁微電子裝備有限公司坐落于合肥市國(guó)家級(jí)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)安徽省集成電路產(chǎn)業(yè)基地，是國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金重點(diǎn)扶持企業(yè)。
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